链式制绒机
链式制绒机去除硅片切割过程中造成的机械损伤，同时增强表面对光的吸收。该链式制绒机是目前业内先进的损伤层去除剂制绒设备。其特点如下：
>> 损伤层去除及表面织构化在同一反应槽内完成
>> 优化设计的流体动力学设计，制绒表面均匀性好
>> 配备有MANZ自动化上下料设备
>> 集成的在线称重系统，实现关键工艺参数的在线监控
链式PSG去除及pn-结刻蚀机
链式刻蚀机同时去除PSG及背面pn-结，其独特的工艺设计不但能确保良好的pn-结刻蚀（隔离），而且能将背面pn-结去除，达到钝化背面的目的。其特点如下：
>> PSG去除及pn结隔离在同一设备进行
>> 可进行背面钝化工艺
>> 能进行单晶和多晶刻蚀
>> 配备有MANZ自动化上下料设备
扩散炉
扩散炉能满足各种光谱特性太阳能米乐平台app的生产需求。全自动的上下料系统将污染降到最低，确保了扩散结果再现性。
>> 可进行双面，单面扩散
>> 全自动的石英舟传输系统，设备利用率高
>> 配备J&R全自动的上下料系统
>> 集成的在线方块电阻测试系统确保对工艺的实时监控
等离子增强化学气相沉积
该PECVD设备是目前晶体硅太阳能米乐平台app氮化硅减反射膜最佳的设备。配备的自动化的上下料系统确保极高的生产效率和均匀的减反射膜。该管式系统也适用于高效米乐平台app片工艺，比如PERC 或PID-Free 太阳能米乐平台app片。
>> 优异的钝化效果
>> 全自动石墨舟传输系统及自动化上下料系统
>> 集成颜色检测模块
>> 先进的沉积时间反馈系统，降低石墨舟的影响
丝网印刷
双轨丝网印刷线模块化程度高，方便更具需要选择配置。光学碎片检测系统科自动检测硅片的微小机械损伤并将硅片移除。 印刷后检测系统能检测正面印刷，背面主栅和背电场印刷质量，并自动报警。
>> 高产能
>> 低碎片率
>> 配备有在线印刷质量检测模块
>> 自动探测背面镀膜硅片
>> 具备两次印刷或两步印刷能力
颜色和效率分选仪
采用在线式高精度电性能测试仪，A+A+A+光谱符合IEC60904-9 Ed.2.0标准。测试仪与颜色分及模块最终生产米乐平台app片的分类。
硅片检验设备
WIS 硅片全自动分选机搭载多种类型的检测模组,如外观、尺寸、硅片特性、隐裂及PL等。可以依照检查及测量结果自行定义分类规则，分类后的结果可以记录和输出，以便后续追踪与管理。
烧结炉
烧结炉是用来燃烧有机残留无，烧结形成金属接触以达到较优化的欧姆接触。
>> 高升温速率和降温速率达到优异的工艺控制
>> 短波红外线结合持续不断的功能监控，确保工艺环境的一致性
>> 优化的网带设计降低其对烧结质量的影响
